离子注入机实现“山东造”助力半导体产业补链强链
离子注入机实现“山东造”助力半导体产业补链强链
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近日，在济南高新区山东产业技术研究院内，济南市艾恩半导体科技有限公司的车间里一片忙碌，工作人员正在对一台离子注入机进行紧张的调试安装。
离子注入机是芯片制造的关键装备，在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能。然而，长期以来，离子注入机技术被国外企业垄断，国产化之路困难重重。
目前，艾恩半导体自主研发制造的第一代碳化硅离子注入机已推向市场，正由芯片制造厂商进行验证。新工厂生产的第一台硅基中束流离子注入机也已进入最终安装调试阶段，预计下线后将交付山东某芯片制造企业。此外，对标国际领先技术水平的第二代碳化硅离子注入机正在研发中，有望于今年9月面市；自主研发制造的碳化硅大束流离子注入机，预计年底推向市场，填补国产设备在这一领域的空白。
据了解，一台离子注入机需要将接近2万个零部件集成起来，覆盖高压电子、机械、计算机控制、等离子体物理等多个高端学科，需通过一系列精密控制，确保各项指标参数的高稳定性、精确性。而山东作为制造业强省，离子注入机所需的近2万个零部件，过半可在本地配套，同时也拥有广泛的下游潜在客户资源，为艾恩半导体的发展提供了有力支撑。
艾恩半导体计划在3年内实现离子注入机所有机型的全覆盖，性能达到国际领先水平，为我国半导体产业的发展贡献力量。（济南日报爱济南记者：张刚）
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清远市（清城、清新）
宜昌市（宜都市、长阳土家族自治县、☁️当阳市、☪️五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、夷陵区、远安县、点军区、枝江市、猇亭区、秭归县、伍家岗区、🍙市辖区）
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唐山市（丰润区、🐚丰南区、遵化市、🍧迁安市、❌️开平区、唐海县、💜滦南县、🤘乐亭县、滦州市、玉田县、🥩迁西县、遵化市、唐山市路南区）
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宜昌市（伍家岗区、西陵区、点军区、🐇猇亭区、😾夷陵区、🥂远安县、🤣兴山县、秭归县、🌳长阳土家族自治县、🕠五峰土家族自治县、♊️宜都市、当阳市、🕣枝江市、♊️虎亭区）
白山市：浑江区、🤲江源区。
赣州市（南康区、⭐️章贡区、✅赣县区、🕖信丰县、大余县、上犹县、⁉️崇义县、安远县、☹️龙南县、🕞定南县、全南县、宁都县、🍘于都县、兴国县、🐋会昌县、寻乌县、石城县、长征镇、沙洲镇、黄冈镇）
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抚顺市：⚱️顺城区、新抚区、🌞东洲区、望花区。
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铁岭市：🐖银州区、🍽清河区。
贵州省安顺市（西秀区、🔯平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、💖关岭布依族苗族自治县、🦀紫云苗族布依族自治县、🏹安顺市、开阳县）
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珠海市（香洲区、斗门区、👩金湾区、😐横琴新区、万山区、📛珠海高新区、🐇唐家湾镇、🚸三灶镇、白石镇、😷前山镇、😛南屏镇、☹️珠海港镇、金鼎镇）
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通辽市（科尔沁区、🐜扎鲁特旗、😯开鲁县、霍林郭勒市、市辖区、🌏科尔沁左翼中旗、🐍库伦旗、科尔沁左翼后旗、🍣奈曼旗）
桂林市（秀峰区、🥯️象山区、七星区、雁山区、🙏临桂区、🏏阳朔县、资源县、平乐县、灌阳县、🍎荔浦市、灵川县、全州县、🕢永福县、🍀龙胜各族自治县、🍉恭城瑶族自治县）：🏉
嘉兴市（海宁市、🍾市辖区、🍁秀洲区、🦅平湖市、🤞桐乡市、南湖区、🐣嘉善县、海盐县）
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泰州市（海陵区、🌥高港区、姜堰区、兴化市、🐓泰兴市、🍹靖江市、🦐扬中市、丹阳市、泰州市区、姜堰区、🏸️海安镇、周庄镇、♊️东进镇、世伦镇、🌍青龙镇、杨湾镇、🦡️马桥镇）
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雅安市（汉源县、市辖区、😥名山区、🦔石棉县、🍛荥经县、宝兴县、天全县、🕑芦山县、😙雨城区）
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昆山市（昆山开发、高新、😽综合保税）
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郑州市（中原、二七、管城、日照水、🤗上街、惠济）
中卫市（沙坡头区、海原县、中宁县、☪️市辖区）
金华市（武义县、东阳市、磐安县、浦江县、🕑兰溪市、🕦永康市、婺城区、义乌市、🍽市辖区、金东区）
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